kontakt@edwardsvacuum.com.pl
+48 22 891 23 88
Grados

Pompy turbomolekularne typu nEXT; EXT; STP

Bezolejowe pompy spiralne (scroll) typu nXDS; nXDS-C; XDS; NGB
Parametry:
  • Próżnia końcowa: do 10(-10) mbar
  • Wydajność: od 240 do 4500 l/s
  • Poziom hałasu: od
  • Masa własna: od 5,7 do 31 kg
Zainteresował Cię ten produkt? skontaktuj się z nami
Zastosowania:
  • Wytrawianie plazmowe metali, dielektryków i krzemu polikrystalicznego
  • Wytrawianie rezonansem elektronowo cyklotronowym (ECR)
  • Chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Napylanie katodowe
  • Źródła implantacji jonów, stacje pompowania końca wiązki
Cechy i zalety:
  • Supernowoczesna konstrukcja wirnika zwiększa wydajność żeby osiągnąć wyjątkowe prędkości pompowania i stopnie sprężania
  • W pełni serwisowalne przez użytkownika, w krótkim czasie bez potrzeby stosowania specjalnych narzędzi i poważnego demontażu
  • Zwarta budowa o wysokich wskaźnikach efektywnej systematyzacji.
  • Spełnia wymogi RoHS oraz zatwierdzone przez CSA/UL (Canadian Standards Association / Underwriters Laboratories)
  • Innowacyjny system łożyskowania magnetycznego (pompy STP)
  • Zredukowany o 50 poziom wibracji w pompach STP w porównaniu do istniejących pomp turbo